方记者连连点头:“秦总,您好,之前新闻联播报道过你们的操作系统,想不到这还不是你们集团最核心的宝贝。”
秦政笑了笑:“跟我来,让你开开眼。”
他带着央视团队穿过三道安检,进入晶圆厂的外围区域。
第一道安检是门卫,查验身份。
第二道是安保,检查设备。
第三道是电子门禁,刷卡和输入工号密码才能进入。
每过一道,方记者脸上的表情就严肃一分。
“秦总,这安保级别,待会有不方便出现的镜头您跟我说,我们做好打码处理。”
秦政笑了笑:“不需要,没事,我们这都可以光明正大拍摄出来报道的,就里面的宝贝,用他们的话来说,我把图纸给他们,他们也未必造得出。
真要打码的话,方记者,那这个报道全是马赛克了。”秦政也难得开了句玩笑话。
方记者点点头,没再说话,示意摄像师跟上。
穿过三道安检后,他们进入了一间巨大的更衣室。
石青山递上几套白色无尘服:“所有人都要换,包括摄像机。镜头要包上防尘罩,电池要换防爆的。”
方记者和摄像师花了十几分钟换好衣服,跟着秦政和石青山走进车间。
门一打开,方记者愣住了。
车间太大了。
一眼望不到头,高度至少五层楼。
白色的地面、白色的墙壁、白色的天花板,整个世界都是白的。
空气中有一股淡淡的化学制剂味,但很干净,像是被过滤了一百遍。
头顶的灯管排成一行行,把整个空间照得没有一丝阴影。
方记者下意识地抬头看了一眼。
天花板上有一排排管道,粗细不一,颜色各异,从车间的一头延伸到另一头。
有些管道上贴着标签,写着“超纯水”“氮气”“真空”“冷却水”“废气”。
“秦总,这车间有多大?这是光刻机吗?怎么会这么大,比一座山看起来还要大。”
石青山立马回答:“一万二千平米。洁净室等级是十级。”
方记者愣了一下:“十级是什么概念?”
石青山笑了笑:“一立方英尺的空气中,粒径大于0.5微米的尘埃不超过十颗。普通医院手术室是万级,芯片光刻环境比手术室还要干净一千倍。”
方记者沉默了。
他看了看自己身上的无尘服,下意识地把拉链又往上提了一点。
石青山带着他们继续往里走。
光刻机就在车间中央。
方记者远远看见那个东西的时候,脚步慢了下来。
太大了。
比他想的大得多。
不是一台机器,是一个庞然大物。
他也只是在书本上见过这种东西的一角。
怎么也没想到会这么大。
方记者目测了一下,这东西至少有四层楼高,像一个巨大的金属柜子,表面覆盖着白色外壳。
外壳上密密麻麻地贴着黄色警告标签,写着“高压”“激光”“辐射”“运动部件”。
侧面有一排排管路和线缆,从机器底部延伸到天花板,像血管一样密集。
机器周围搭着银色的维修平台,有三层,每层都有栏杆和楼梯。
最底下是一个控制台,两个穿无尘服的工程师坐在那里,盯着屏幕。
机器的顶部,有一根粗壮的金属管道直插天花板。
石青山指着说:“那是废气排放管,把光刻过程中产生的微量废气抽走。”
“秦总,这就是光刻机?”方记者震惊的问道。
秦政看着眼前的东西,没有马上回答。
他也是第一次亲眼看到完全体的光刻机。
之前所有的研发、组装、调试,都是石青山在做。
他只知道进度,只知道参数,只知道结果。
他从来没有亲眼看过这台机器长什么样。
现在他站在这里,看着这个庞然大物,第一次直观地感受到了它的分量。
心里暗暗想到:这玩意就这重量,这体积哪个脑残货说可以把它偷运回来?
石青山见秦政四处打量,马上帮忙回答:“对,这就是,这是我们自己做的,全国产化,包括机身上的每一颗螺丝和螺帽都是,我们基础材料也略取得一些成果。”
方记者示意摄像师开始拍。
摄像机缓缓扫过光刻机的全貌,从左到右,从下到上。
镜头在顶部的管道停留了几秒,又下移到中部的镜筒,最后落在底部的双工件台上。
方记者走近了一点,指着机器中部的一个圆柱形结构问:“这是什么?”
石青山说:“这是投影物镜系统。光刻机的核心。193纳米紫外光从这里穿过,经过十几片透镜折射后,照射到下面的硅片上。整个镜筒的镜片数量、曲率、镀膜厚度、装配精度,都决定了光刻的分辨率。”
“能进去看看吗?”
石青山看了秦政一眼。
秦政点头。
石青山带着方记者走到机器侧面,打开一个舱门。
里面是一个狭长的通道,刚好够一个人侧身通过。
通道两侧是密密麻麻的管路和线缆,每一根都有标签。
简直就是工业排版的巅峰。
看起来,眼睛都是一种享受。
“光刻机有三万多个零部件。这里是其中一部分。”
方记者跟着石青山穿过通道,来到机器的另一侧。
“这里是双工件台的位置。两个银色的工件台并排排列,每个上面都固定着一片八英寸硅片,但我们双工件台和国外的不一样,虽然称呼一样。但无论从运行模式都和国外有所区别,避免了专利侵权。”
只见工件台正在高速移动,从一边滑到另一边,速度快得让方记者眼花。
“工件台在干什么?”