张扬走到两人面前。
两位技术泰斗转头看了过来。
“张总？您怎么半夜过来了？”梁博士看到张扬明显一愣。
“前线打仗，我这个送粮草的，哪能在后面睡大觉。”
张扬走到测试台前，扫了眼屏幕上密密麻麻的报错代码。
“孙老，梁老，卡在哪儿了？”
孙老叹了口气，把图纸摊到桌面上。
“张总，咱们自主研制的这台ArF准分子激光器，前面的三百九十九次试错都走过来了，惰性气体纯化也做到了极限。”
“现在卡在最后一道坎。”
孙老指向图纸上的核心光路区。
“想达到光刻机需要的高功率曝光标准，脉冲能量必须上去，可能量一上去，衰减度就压不住，刚才的测试，波动幅度达到百分之一。”
“百分之一不行。”梁博士接过话，“阿斯麦要求控制在百分之零点五以内，否则刻出的电路纹路全是毛边。”
“按梁博士说的，提高气体纯度呢？”张扬看向孙老。
“功率能上去，可镜组烧蚀的风险也会大增。”孙老指着图纸，满脸心疼，“这套高精度镜片，工艺水平相当于蔡司同级产品，造价两千多万，真烧了，几分钟就能报废。”
张扬没有丝毫犹豫犹豫，想要搞研发，哪里能舍不得钱。
“孙老，别把两千万放在心上。”
他看着这位老科研工作者。
“扬天产业基金批给你们的研发额度没有上限，别说报废一套镜组，就算今晚烧掉十套，只要能摸到临界点，就算赚了。”
孙老听到这话眼眶发红。
他干了一辈子科研，从前为了几万元项目经费都要向上级打报告，材料也得掰着手指头计算着用。
如今遇上这么一个不把钱当回事的老板，压在心里的顾虑终于彻底。
“好！”
孙老咬了咬牙。
“既然张总发话，今天就放开手脚干一场，惰性气体浓度上调零点二！”
几名操作工程师精神振作，迅速在控制面板上输入指令。
“气体浓度调整完成！”
“高压放电腔预热完成！”
“光学谐振腔校准进入最后阶段！”
测试靶区的气氛凝重的快要溢出来。
所有人隔着防爆玻璃，盯住里面那台金属设备。
“启动第四百次脉冲测试！”梁博士喊道。
孙老亲自推上主控台的红色电闸。
高压放电声在靶区内响起，真空腔体里迸出肉眼不能直视的强光。
“脉冲打出来了！”一名工程师攥住双拳，惊呼出声。
电脑屏幕上的数据不断滚动，所有人的视线都落在代表能量衰减度的折线图上。
折线剧烈跳动，直朝红色警戒区逼近。
“稳住……稳住啊！”
梁博士双手撑住桌面，额头上满是汗珠。
高频脉冲还在持续输出。
一秒。
两秒。
五秒过去，防爆玻璃后的设备没有任何异响，镜组也没有发出过热报警。
代表衰减度的折线慢慢平稳，压在低位线上。
操作台前的工程师站起身，声音嘶哑。
“孙老，梁博士，测试通过！”
“193纳米ArF准分子激光发生器，持续发射高能量脉冲超过一万次！”
“能量衰减度控制在百分之零点三以内！”
车间里一阵寂静。
数秒后，欢呼声几乎冲破棚顶。
梁博士扯下打印机刚吐出的测试报告，大步来到张扬面前。
“张总！”
他把报告拍在桌上，眼底流露着压不住兴奋。
“百分之零点三的衰减度！咱们超过了阿斯麦原厂标准！”梁博士抓住张扬的胳膊。
“张总，咱们自己的心脏，跳起来了！”
孙老摘下眼镜，用手背擦去眼角的泪水。
干了一辈子的硬核科技攻关，受了海外垄断那么多年压制，今天总算等到了国产替代的亮光。
这场胜利不只是技术上的突破，也意味着封锁的铁幕被砸开了一道口子。
张扬拿起那份还带着余温的报告，拍了拍梁博士的肩膀。
“梁老、孙老，各位工程师，辛苦了。”
“既然心脏造出来了，就别让它留在测试台上空转。”
张扬转身看向旁边待命的设备组。
“把改好的底座工件台推过来，接上光源。”梁博士吸了口气，眼里的斗志重新燃起。
“设备组听令，开始对接激光发生器！”
各项指令有序下达。
工件台被推入预定轨道，与新造的激光器完成物理和数据连接。
一名工程师捧着防静电密封盒快步赶来。
里面装着首批采用国产工艺制备的八英寸硅片，紧接着硅片被送入了曝光工位。
密封舱门合拢，设备内部亮起红光，机械臂高速运转起来。
梁博士走到操控台前，弯腰盯着高倍取景器屏幕。
“张总，第一道电路纹路开始刻蚀了。”
梁博士弯着腰，双眼盯住高倍取景器屏幕。
张扬走到他身边，视线落在显示器上，为了能多了解一些半导体方面的产业模式，这段时间他可是没少恶补相关知识。
要知道他的记忆力可是堪比过目不忘的。
“光路曝光的精度能压住吗？”
“目前各项参数都在警戒线内。”梁博士双手撑着操控台。
“多重曝光的对准偏差呢？”
“控制在两纳米以内。”梁博士答道。
孙老站在一旁，两只手绞在一起。
“这台机器的心脏，是咱们自己造的准分子激光器，这可是头回真刀真枪上阵。”。
张扬拍了拍他的肩膀。
“孙老，放心，前几片就算废了也没事，只当给设备磨合。”
“废不了！”
梁博士大声道，手指点向屏幕上稳定推进的进度条。
“伺服电机的底层代码是我们重写的，双工件台的移动平顺度比原厂还高半个层级，张总，您看边缘的平滑度。”
张扬顺着他指的方向看去。
微观图像满是噪点，电路沟道的轮廓已经露了出来。
“头一道曝光只要不出问题，后面的多层堆叠就能顺着往下做。”梁博士长长吐了口气。
张扬点头，“那就按这个节奏稳扎稳打，后面的流程，全权交给您调度。”